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振镜联动扫描系统


1.5±μm


定位精度

600*600≥mm


有效范围

产品说明

振镜联动扫描系统使振镜加工范围无限扩展成为可能。LrLaser-6060通过机床轴运动与振镜扫描运动,形成联动运动轨迹,扩展了激光扫描系统的工作区,提供清晰的激光加工优势。相比于传统的振镜与平台独立控制系统,振镜联动系统能够大幅度提升激光加工效率及精度,实测最高效率提升40%,整体精度能够控制在5um以内。

产品亮点

• 全闭环扫描振镜及伺服系统联动控制

• 无限视野范围轨迹无缝结合

• 数字化扫描控制系统+PSO位置同步输出,零延迟

• 应用于大面积复杂轨迹的连续激光微加工

• 自主开发的激光控制系统

设备参数

驱动器方式振镜+伺服轴运动控制信号传输EtherCAT,支持振镜XY2-100
有效范围600mm×600mm或以上定位精度±1.5um
功率控制PSO等间距激光功率控制波长范围343 nm到10.6μm
激光器类型适用于短脉冲PS和FS等超快激光器

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